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  当时，AI正加快向机器人、智能轿车、AR/VR等使用场景拓宽，对感知、交互和控制才能提出更加高的要求。MEMS作为现代传感器工业的重要根底技能，正成为推进智能终端立异开展的要害支撑。

  在此景下，2026年10月21日至23日，第七届我国MEMS制作大会暨微纳制作与传感器展将在姑苏国际博览中心隆重举行。大会将会聚全球MEMS制作工业链资源，以AI 赋能MEMS工业为导向，环绕人机一体化智能体系、先进器材与感知、AI根底设施和智能协平等方向，全面展现工业前沿技能成果，深入讨论MEMS工业高质量开展热门与出资时机。

  大会由我国仅有的MEMS职业威望安排——我国导体职业协会MEMS（微机电体系）分会辅导，姑苏纳米城等工业协同单位联合主办。作为国内MEMS制作范畴最具影响力的职业盛会之一，我国MEMS制作大会自2019年起已接连成功举行六届，见证并推进了我国MEMS工业的快速开展。2026年大会将议题设置、活动方式、国际协作与使用场景等方面进一步晋级，继续为职业嘉宾打造MEMS工业沟通协作的重要渠道。

  本届我国MEMS制作大会将约请来自全球MEMS工业链的领军企业、高校院所及出资组织代表宣布主题讲演，深度解析MEMS商场开展时机、先进规划、中心资料、要害设备、精细制作以及体系集成等环节，一起共享工业立异成果与实践经验。

  环绕国内外MEMS代工先进工艺与新工艺道路开展趋势、特征工艺渠道建造、中试渠道才能提高，以及要害设备、资料国产化等方向打开讨论，重视MEMS制作体系的继续完善与量产才能晋级。

  将聚集惯性、红外、气体、射频等范畴，共享先进MEMS器材与立异使用，并环绕

  将聚集MEMS技能在数据中心、光通信、光电集成及先进热办理等范畴的使用开展，环绕薄膜铌酸锂、光互连、自动散热等方向，共享工业化成果与技能使用事例。

  将环绕AI年代下，MEMS的协同规划、EDA仿真、要害设备、异质集成及体系可靠性等方向打开沟通，促进规划、制作与体系使用的协同立异。

  大会将赞誉2025年我国MEMS工业高质量开展过程中体现杰出的代表性企业，以职业龙头为引领，进一步激起MEMS工业立异生机与协同开展动力，推进我国MEMS工业全体竞争力继续提高。

  2026年我国MEMS制作大会拟将初次发动“年度新锐MEMS产品”评选活动，面向MEMS工业链企业搜集具有技能立异性、商场成长性与职业影响力的代表产品。将约请头部出资组织、工业链明星企业和知识产权组织一起参加评定与投票，侧重重视服务于AI、机器人、轿车电子、AR/VR等新式使用范畴具有打破潜力的MEMS立异产品，进一步发掘职业新技能、新方向与新时机。

  MEMS晶圆制作验证-初试-中试-量产、MEMS封装测验、MEMS特别工艺、失效剖析、产线设备等。MEMS加工配备、纳米压印技能、微制程技能、剖析检测、MEMS器材、MEMS器材及使用，MEMS交融接合技能，下一代光刻技能。

  挨近式/直接式光刻设备、PVD/CVD/ALD堆积成膜设备、氧化/分散炉、干/湿法刻蚀设备、共晶/暂时/引线键合设备、清洗/酸洗/烘干/甩干设备、切/磨/划设备、探针台、检测设备、高低温/老化测验设备。

  G 线、I 线、KrF、ArF（干法/浸没）、EUV等光刻胶，正/负性胶，纳米压印、剥离、特种光刻胶；掩膜版、抗反射涂层、涂胶/显影配套；树脂、 聚合物、单体、有机溶剂、高纯试剂、电子特气等。

  原子力显微镜、反向散射探测器、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜、电子显微镜、质谱仪、拉曼显微镜、生物显微镜、透射电子显微镜、成像多光子显微镜、飞纳台式扫描电镜、扫描电化学显微镜、资料表征、智能荧光显微成像仪、电镜检测、蓝光三维扫描仪等。

  2026年我国MEMS制作大会将与中心展区深度联动举行，进一步拉近技能沟通、产品展现与工业对接之间的间隔，打造“会议+展现+沟通”交融的现场生态。展区估计将招引2万+来自MEMS工业链上下游的专业观众，一起讨论职业趋势、寻觅协作时机、拓宽商业网络。

  参展企业和观展嘉宾可一起会集探究MEMS制作全工业链的最新成果与技能开展，与潜在客户、协作伙伴进行面对面沟通，更高效地对接上下游需求，拓宽工业协作空间。观众也能更直观地了解MEMS范畴前沿技能、先进工艺与立异使用方向，在沟通互动中获取职业最新动态与协作时机。